計測器・検査機器の九州計測器の新着情報&ニュース

ポリテックジャパンより、株式会社リコー様とのコラボウェビナーが開催されます。
MEMSデバイスの動特性評価は、非接触で振動測定ができるレーザドップラ振動計の最も適したアプリケーションの一つです。
本セミナーでは、ユーザー様である、株式会社リコー 新川様より、
MEMSミラーデバイスをレーザドップラ振動計によって多点測定した実例をご紹介いただきます。
MEMSデバイス開発における、貴重な事例紹介となります。ぜひご聴講ください。

【セミナー概要】
　開催日時：2026年6月19日（金）11:00〜12:00
　開催方法：ウェビナー（Zoom）
　受 講 料 ：無料
　講　　師：株式会社リコー　技術本部　先端技術研究センター
　　　　　　次世代技術研究室　新川 瑞季　様

【講演内容】
レーザ光を広角かつ精密に走査する技術は、LiDARによる距離センシングや高精細プロジェクションなど、幅広い分野で期待されています。
その実現手段として注目されるMEMSミラーは、小型・軽量・低消費電力という特長を持つ一方、広い走査角と高い空間解像度の両立が課題となります。
特に2次元走査ミラーでは、高速軸の共振が低速軸へ伝搬して不要振動を生み、走査軌跡を歪める要因となります。この課題解決には、
可動部の挙動把握が不可欠であり、レーザドップラ振動計による多点計測と振動モードの可視化が有効です。
本講演では、当社が開発する圧電駆動MEMSミラーデバイスと、そのレーザドップラ振動計を用いた評価事例をご紹介いたします。

　▶︎ 本セミナーのお申し込みはこちら